共 50 条
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イオン注入装置及びイオン注入方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20140118901
申请日：
2014-06-09
公开(公告)号：
JP6324223B2
公开(公告)日：
2018-05-16
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01J37/317
IPC分类号：
H01L21/265
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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