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高周波誘導熱プラズマ装置[ja]
被引：0
申请号：
JP20180000244
申请日：
2018-01-04
公开(公告)号：
JP6962825B2
公开(公告)日：
2021-11-05
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
B01J19/08
IPC分类号：
B22F9/14
C01B13/14
C01B33/021
H05H1/30
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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