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照明装置及び照明光生成方法[ja]
被引:0
申请号
:
JP20170567022
申请日
:
2017-02-10
公开(公告)号
:
JPWO2017138655A1
公开(公告)日
:
2018-12-13
发明(设计)人
:
申请人
:
申请人地址
:
IPC主分类号
:
G02B27/09
IPC分类号
:
G01N21/01
G02B21/06
G02F1/13
代理机构
:
代理人
:
法律状态
:
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
共 50 条
[1]
照明装置及び照明光生成方法[ja]
[P].
日本专利
:JP6785805B2
,2020-11-18
[2]
照明光源及び照明装置[ja]
[P].
日本专利
:JP5842113B2
,2016-01-13
[3]
照明光源及び照明装置[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2012081258A1
,2014-05-22
[4]
照明光学系、照明装置、及び照明光学素子[ja]
[P].
日本专利
:JP6370626B2
,2018-08-08
[5]
LED照明光源及び照明装置[ja]
[P].
日本专利
:JP5824676B2
,2015-11-25
[6]
照明光学系及び照明装置[ja]
[P].
日本专利
:JP7281544B2
,2023-05-25
[7]
照明光学系、照明装置、投影露光装置、及び露光方法[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2004068564A1
,2006-05-25
[8]
照明装置、パターン検査装置及び照明光の形成方法[ja]
[P].
日本专利
:JP5773661B2
,2015-09-02
[9]
照明光学系および照明装置[ja]
[P].
日本专利
:JP5967976B2
,2016-08-10
[10]
工具照明光源及照明装置
[P].
迈克尔·T·拉杰
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
施耐宝公司
施耐宝公司
迈克尔·T·拉杰
;
杰森·根茨
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
施耐宝公司
施耐宝公司
杰森·根茨
;
克雷格·布鲁沃斯
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
施耐宝公司
施耐宝公司
克雷格·布鲁沃斯
;
乔舒亚·M·比尔
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
施耐宝公司
施耐宝公司
乔舒亚·M·比尔
.
美国专利
:CN118998645A
,2024-11-22
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