加工装置及び被加工物の加工方法[ja]

被引：0

申请号：

JP20160201093

申请日：

2016-10-12

公开(公告)号：

JP6732382B2

公开(公告)日：

2020-07-29

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

B24B53/02

IPC分类号：

B24B7/00 B24B49/12 B24B53/017 B24B53/12 H01L21/304

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法律状态信息

共 50 条

[1]

加工装置及び被加工物の加工方法[ja] [P].

日本专利 :JP2025136216A ,2025-09-19

[2]

被加工物の加工方法及び加工装置[ja] [P].

日本专利 :JP7383339B2 ,2023-11-20

[3]

加工装置及び被加工物の加工方法[ja] [P].

NAKANO SHOTA .

日本专利 :JP2024047377A ,2024-04-05

[4]

加工装置及び被加工物の加工方法[ja] [P].

日本专利 :JP7325897B2 ,2023-08-15

[5]

被加工物の加工方法及び加工装置[ja] [P].

日本专利 :JP7118688B2 ,2022-08-16

[6]

加工装置及び被加工物の加工方法[ja] [P].

UEYAMA HIROMITSU ;

SAKURAI TAKATOSHI ;

UENO KOHEI .

日本专利 :JP2024025383A ,2024-02-26

[7]

被加工物の加工方法及び加工装置[ja] [P].

SEKIYA KAZUMA .

日本专利 :JP2024150272A ,2024-10-23

[8]

被加工物の加工方法及び加工装置[ja] [P].

日本专利 :JP7776356B2 ,2025-11-26

[9]

加工装置及び被加工物の加工方法[ja] [P].

日本专利 :JP7134565B2 ,2022-09-12

[10]

加工装置、被加工物の加工方法[ja] [P].

日本专利 :JP2025000125A ,2025-01-07

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