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板状部材の支持装置および支持方法、ならびに板状部材の搬送装置[ja]
被引:0
申请号
:
JP20110146307
申请日
:
2011-06-30
公开(公告)号
:
JP5827046B2
公开(公告)日
:
2015-12-02
发明(设计)人
:
申请人
:
申请人地址
:
IPC主分类号
:
B25J15/08
IPC分类号
:
B65G49/07
H01L21/677
代理机构
:
代理人
:
法律状态
:
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
共 50 条
[1]
板状部材の支持装置および支持方法[ja]
[P].
日本专利
:JP5632216B2
,2014-11-26
[2]
板状部材の支持装置及び支持方法[ja]
[P].
日本专利
:JP5727243B2
,2015-06-03
[3]
板状部材の支持装置[ja]
[P].
日本专利
:JP5721454B2
,2015-05-20
[4]
板状部材の支持装置[ja]
[P].
日本专利
:JP6378912B2
,2018-08-22
[5]
板状部材の支持装置[ja]
[P].
日本专利
:JP5723612B2
,2015-05-27
[6]
支持装置およびその構成部材[ja]
[P].
日本专利
:JP2018532921A
,2018-11-08
[7]
板部材支持装置の製造方法[ja]
[P].
日本专利
:JP5737583B2
,2015-06-17
[8]
支持装置及び支持部材[ja]
[P].
日本专利
:JP2025136492A
,2025-09-19
[9]
フィルム状部材の支持装置[ja]
[P].
日本专利
:JP6506605B2
,2019-04-24
[10]
板部材の支持方法、板部材支持装置、ステージ装置、露光装置、及びデバイスの製造方法[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2005074015A1
,2007-09-13
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