光学素子の製造方法、及び、光学素子の製造装置[ja]

被引:0
申请号
JP20120515785
申请日
2011-03-18
公开(公告)号
JPWO2011145389A1
公开(公告)日
2013-07-22
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C03B11/12
IPC分类号
G02B3/00
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[1]
光学素子材料、及びその製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP6003898B2 ,2016-10-05
[2]
光学素子材料、及びその製造方法[ja] [P]. 
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[3]
熱電素子材料とその製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP6729931B2 ,2020-07-29
[4]
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[6]
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[7]
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[8]
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[9]
露光装置、物品の製造方法、及び露光方法[ja] [P]. 
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[10]