成膜装置及び成膜装置の制御方法[ja]

被引：0

申请号：

JP20220070776

申请日：

2022-04-22

公开(公告)号：

JP2022090053A

公开(公告)日：

2022-06-16

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

C23C14/24

IPC分类号：

C23C14/54

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法律状态信息

共 50 条

[1]

成膜装置、成膜装置の制御装置及び成膜方法[ja] [P].

日本专利 :JP6932873B1 ,2021-09-08

[2]

成膜装置、成膜装置の制御装置及び成膜方法[ja] [P].

日本专利 :JP7686414B2 ,2025-06-02

[3]

成膜装置、成膜装置の制御装置及び成膜方法[ja] [P].

YAKUSHIGAMI HIROSHI ;

SAKAMOTO REIJI ;

SHIBAMOTO MASAHIRO .

日本专利 :JP2025122073A ,2025-08-20

[4]

成膜装置及び成膜装置の制御方法[ja] [P].

日本专利 :JP7064407B2 ,2022-05-10

[5]

成膜装置及び成膜装置の制御方法[ja] [P].

KOJIMA YASUHIKO ;

ISHIBASHI SHOTA ;

KITADA TORU .

日本专利 :JP2024011978A ,2024-01-25

[6]

成膜装置及び成膜装置の制御方法[ja] [P].

日本专利 :JP6843533B2 ,2021-03-17

[7]

成膜装置及び成膜装置の制御方法[ja] [P].

日本专利 :JP7262647B2 ,2023-04-21

[8]

成膜装置及び成膜装置の制御方法[ja] [P].

日本专利 :JP7021318B2 ,2022-02-16

[9]

成膜制御装置、成膜装置及び成膜方法[ja] [P].

日本专利 :JP7171092B1 ,2022-11-15

[10]

成膜方法、成膜装置、および該成膜装置の制御装置[ja] [P].

日本专利 :JPWO2011093334A1 ,2013-06-06

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