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エンコーダ、エンコーダ用スケールの製造方法、エンコーダの製造方法及び駆動装置[ja]
被引：0
申请号：
JP20130551797
申请日：
2012-12-27
公开(公告)号：
JPWO2013100061A1
公开(公告)日：
2015-05-11
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
G01D5/347
IPC分类号：
G01D5/245
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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