共 14 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
集積静電チャックを備えた基板キャリア[ja]
被引：0
申请号：
JP20160515515
申请日：
2014-09-18
公开(公告)号：
JP2016539489A
公开(公告)日：
2016-12-15
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
C23C14/50
C23C16/458
H01L21/31
H01L21/673
H01L51/50
H05B33/10
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |