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真空ポンプ[ja]
被引:0
申请号
:
JP20140559528
申请日
:
2013-12-25
公开(公告)号
:
JPWO2014119191A1
公开(公告)日
:
2017-01-26
发明(设计)人
:
申请人
:
申请人地址
:
IPC主分类号
:
F04D19/04
IPC分类号
:
代理机构
:
代理人
:
法律状态
:
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
共 50 条
[1]
真空ポンプ[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2010007975A1
,2012-01-05
[2]
真空ポンプ[ja]
[P].
日本专利
:JP2025138333A
,2025-09-25
[3]
真空ポンプ[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2012077411A1
,2014-05-19
[4]
ターボ分子真空ポンプ[ja]
[P].
日本专利
:JP2024535340A
,2024-09-30
[5]
蒸発ポンプ[ja]
[P].
日本专利
:JP2025502203A
,2025-01-24
[6]
ターボ分子ポンプ[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2014045438A1
,2016-08-18
[7]
真空ポンプの寿命を延ばす運用方法[ja]
[P].
日本专利
:JP6120469B1
,2017-04-26
[8]
ポンプ監視装置、真空ポンプおよび生成物堆積診断用データ処理プログラム[ja]
[P].
日本专利
:JP7188560B2
,2022-12-13
[9]
ポンプ監視装置、真空ポンプおよび生成物堆積診断用データ処理プログラム[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2020194852A1
,2021-12-02
[10]
真空排気システム、真空ポンプのクリーニング方法、及び、洗浄ユニット[ja]
[P].
日本专利
:JP2025162520A
,2025-10-27
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