ネガ型感光性シロキサン組成物[ja]

被引：0

申请号：

JP20140509224

申请日：

2013-04-05

公开(公告)号：

JPWO2013151166A1

公开(公告)日：

2015-12-17

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

G03F7/075

IPC分类号：

H01L21/027

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共 50 条

[1]

ネガ型感光性シロキサン組成物[ja] [P].

日本专利 :JPWO2013151167A1 ,2015-12-17

[2]

ネガ型感光性シロキサン組成物[ja] [P].

日本专利 :JPWO2013080884A1 ,2015-04-27

[3]

感光性シロキサン組成物[ja] [P].

日本专利 :JP2019504909A ,2019-02-21

[4]

ポジ型感光性シロキサン組成物[ja] [P].

日本专利 :JPWO2012026400A1 ,2013-10-28

[5]

ポジ型感光性シロキサン組成物[ja] [P].

日本专利 :JPWO2012161025A1 ,2014-07-31

[6]

ネガ型感光性組成物[ja] [P].

日本专利 :JP2019521374A ,2019-07-25

[7]

ネガ型感光性組成物[ja] [P].

日本专利 :JP2024500206A ,2024-01-05

[8]

ネガ型感光性組成物[ja] [P].

日本专利 :JP2022535139A ,2022-08-04

[9]

ポジ型感光性ポリシロキサン組成物[ja] [P].

FUKUIE TAKASHI ;

YOSHIDA HISAFUMI ;

NOYA ATSUKO .

日本专利 :JP2022031347A ,2022-02-18

[10]

感光性ポリオルガノシロキサン組成物[ja] [P].

日本专利 :JPWO2009113459A1 ,2011-07-21

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