レジスト剥離液[ja]

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申请号
JP20190568266
申请日
2019-03-25
公开(公告)号
JPWO2020194418A1
公开(公告)日
2021-04-08
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
G03F7/42
IPC分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[1]
レジスト剥離液[ja] [P]. 
日本专利 :JP6688978B1 ,2020-04-28
[2]
レジスト剥離液[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2020194419A1 ,2021-04-08
[3]
レジスト剥離液[ja] [P]. 
日本专利 :JP6692029B1 ,2020-05-13
[4]
レジスト剥離液[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2020194420A1 ,2021-04-08
[5]
レジスト剥離液[ja] [P]. 
日本专利 :JP6684998B1 ,2020-04-22
[6]
レジスト剥離液[ja] [P]. 
日本专利 :JP5885041B1 ,2016-03-15
[7]
レジスト剥離液[ja] [P]. 
日本专利 :JP5885046B1 ,2016-03-15
[8]
レジスト剥離液[ja] [P]. 
MAKITA SHOHEI ;
ICHIKAWA HIBIKI ;
HIGA HAJIME ;
OZAWA SATSUKI .
日本专利 :JP2024076284A ,2024-06-05
[9]
レジスト剥離液及びレジストの剥離方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP6249260B1 ,2017-12-20
[10]
レジスト剥離剤[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2007148574A1 ,2009-11-19