共 50 条
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基板の再利用方法及び基板洗浄装置[ja]
被引：0
申请号：
JP20130106985
申请日：
2013-05-21
公开(公告)号：
JP6108453B2
公开(公告)日：
2017-04-05
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C01B32/152
IPC分类号：
C01B32/158
H01L21/304
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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