共 50 条
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酸化物粒子及びその製造方法、薄膜の製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20140068554
申请日：
2014-03-28
公开(公告)号：
JP6291311B2
公开(公告)日：
2018-03-14
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/368
IPC分类号：
C01G15/00
G02F1/1368
H01L21/336
H01L29/786
H01L51/50
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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