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磁界発生装置、電磁アクチュエータ、ステージ装置、露光装置、及びデバイスの製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20060537781
申请日：
2005-09-28
公开(公告)号：
JPWO2006035835A1
公开(公告)日：
2008-05-15
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H02K41/03
IPC分类号：
H01L21/027
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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