微細凹凸構造を表面に有する物品の製造方法およびワイヤグリッド型偏光子の製造方法[ja]

被引:0
申请号
JP20110520970
申请日
2010-06-30
公开(公告)号
JPWO2011002042A1
公开(公告)日
2012-12-13
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
G02B5/30
IPC分类号
G02B1/02 G02F1/1335 H01L21/027
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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