放熱装置、及びそれを備える光照射装置[ja]

被引：0

申请号：

JP20190011755

申请日：

2019-01-27

公开(公告)号：

JP7012674B2

公开(公告)日：

2022-02-14

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

F28D15/02

IPC分类号：

H01L23/427 H01L33/64 H05K7/20

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法律状态信息

共 50 条

[1]

放熱装置及びそれを備える光照射装置[ja] [P].

日本专利 :JP6599379B2 ,2019-10-30

[2]

放熱装置及びそれを備える光照射装置[ja] [P].

日本专利 :JP6423900B2 ,2018-11-14

[3]

光照射装置、およびこれを備える露光装置[ja] [P].

日本专利 :JP6989977B2 ,2022-01-12

[4]

光照射装置、およびこれを備える露光装置[ja] [P].

日本专利 :JP2022184872A ,2022-12-13

[5]

光照射装置、およびこれを備える露光装置[ja] [P].

日本专利 :JP7257719B2 ,2023-04-14

[6]

光照射装置、およびこれを備える露光装置[ja] [P].

日本专利 :JP7191434B2 ,2022-12-19

[7]

光照射装置、およびこれを備える露光装置[ja] [P].

日本专利 :JP7142380B2 ,2022-09-27

[8]

光照射装置、およびこれを備える露光装置[ja] [P].

INOUE TOMOHIKO ;

YAMASHITA KENICHI ;

MATSUMOTO HIROSHI ;

IKEDA TOMIHIKO .

日本专利 :JP2022031802A ,2022-02-22

[9]

光照射装置、およびこれを備える露光装置[ja] [P].

日本专利 :JP7140430B2 ,2022-09-21

[10]

光照射装置及びこれを備えた画像表示装置[ja] [P].

日本专利 :JP6237795B2 ,2017-11-29

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