リン酸リチウム化合物を含有する残留物を表面から除去する方法[ja]

被引:0
申请号
JP20180160062
申请日
2018-08-29
公开(公告)号
JP6814181B2
公开(公告)日
2021-01-13
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C03C23/00
IPC分类号
B08B3/08 C03C21/00
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[1]
リン含有化合物を有する組成物[ja] [P]. 
日本专利 :JP5767250B2 ,2015-08-19
[2]
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[6]
チャンバ残留物を低減する方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2022533134A ,2022-07-21
[7]
排水から含フッ素化合物を除去する方法[ja] [P]. 
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[8]
排水から含フッ素化合物を除去する方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2023025103A ,2023-02-21
[9]
真空軽油から硫黄化合物を除去する方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2015527435A ,2015-09-17
[10]
排水から含フッ素化合物を除去する方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP7485978B2 ,2024-05-17