共 50 条
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試料保持器および荷電粒子線装置[ja]
被引：0
申请号：
JP20210521587
申请日：
2019-05-27
公开(公告)号：
JP7241174B2
公开(公告)日：
2023-03-16
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01J37/20
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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