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スズ化合物、その合成方法、ＡＬＤ用スズ前駆体化合物、及びスズ含有物質膜の形成方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20170232967
申请日：
2017-12-04
公开(公告)号：
JP7185394B2
公开(公告)日：
2022-12-07
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C16/18
IPC分类号：
C07F7/22
C23C16/34
C23C16/40
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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