光源装置の光軸調整用器具、光源装置、及び光源装置の光軸調整方法[ja]

被引：0

申请号：

JP20160231703

申请日：

2016-11-29

公开(公告)号：

JP6970369B2

公开(公告)日：

2021-11-24

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G02B3/00 G02B7/00 G02B7/02 G02B13/00 G02B19/00 G03B21/14

代理机构：

代理人：

法律状态：

国省代码：

引用

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共 50 条

[1]

光源装置及び光源装置の調光方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2014045647A1 ,2016-08-18

[2]

光源装置および光源装置の調整方法[ja] [P].

日本专利 :JP7402408B2 ,2023-12-21

[3]

光源装置、及び光量調整方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2020115807A1 ,2021-10-07

[4]

光源装置、及び光量調整方法[ja] [P].

日本专利 :JP7009654B2 ,2022-01-25

[5]

調光装置及び光源装置[ja] [P].

日本专利 :JP6015799B1 ,2016-10-26

[6]

光源装置、色調整方法、照明装置[ja] [P].

日本专利 :JP5611690B2 ,2014-10-22

[7]

レーザ光調整方法、及びレーザ光源装置[ja] [P].

日本专利 :JP6836848B2 ,2021-03-03

[8]

光源装置、光量分布の調整方法及び画像取得システム[ja] [P].

日本专利 :JPWO2018139101A1 ,2019-11-14

[9]

光源装置及び膜厚調整機構[ja] [P].

GOTO NAOKI .

日本专利 :JP2024179110A ,2024-12-26

[10]

光源装置、検査装置、および調整方法[ja] [P].

SAKUMA JUN ;

MORI RYOTARO .

日本专利 :JP2024004021A ,2024-01-16

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