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酸化物超電導薄膜の製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20030587731
申请日：
2003-04-17
公开(公告)号：
JPWO2003091157A1
公开(公告)日：
2005-09-02
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C01G3/00
IPC分类号：
C01G1/00
C23C14/08
C23C14/22
C23C14/28
H10N60/01
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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