スパッタリングターゲットの製造方法およびスパッタリングターゲット[ja]

被引:0
申请号
JP20120510562
申请日
2011-04-11
公开(公告)号
JPWO2011129089A1
公开(公告)日
2013-07-11
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C23C14/34
IPC分类号
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[1]
ヒータユニットおよびヒータユニットの製造方法[ja] [P]. 
FUTAKUCHIYA JUN ;
AIKAWA NAOYA ;
SAITO RYOICHI ;
JI YANG .
日本专利 :JP2024135368A ,2024-10-04
[4]
レーザ測量用ターゲット[ja] [P]. 
日本专利 :JP3170972U ,2011-10-06
[5]
セパレータ一体ガスケット[ja] [P]. 
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[7]
キーパッド用メタルドームスイッチ[ja] [P]. 
日本专利 :JP3165574U ,2011-01-27
[9]