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炭化ケイ素－窒化ケイ素複合材料の製造方法及びそれによる炭化ケイ素－窒化ケイ素複合材料[ja]
被引：0
申请号：
JP20210561698
申请日：
2020-03-11
公开(公告)号：
JP2022520899A
公开(公告)日：
2022-04-01
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C16/30
IPC分类号：
C04B35/577
C04B35/596
C04B41/87
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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