磁気抵抗素子とその製造方法、該製造方法に用いる記憶媒体[ja]

被引:0
申请号
JP20100527666
申请日
2009-08-12
公开(公告)号
JPWO2010026703A1
公开(公告)日
2012-01-26
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
H10N50/10
IPC分类号
C23C14/14 H01L21/8246 H01L27/105 H10N50/01
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[8]
磁気抵抗素子の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP6072478B2 ,2017-02-01
[9]
[10]
磁気抵抗素子の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2017068611A1 ,2017-10-19