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酸化物半導体膜、及び半導体装置[ja]
被引：0
申请号：
JP20140020483
申请日：
2014-02-05
公开(公告)号：
JP6207018B2
公开(公告)日：
2017-10-04
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L29/786
IPC分类号：
H01L29/26
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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