共 50 条
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単結晶炭化ケイ素及びその製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20030502272
申请日：
2001-06-04
公开(公告)号：
JPWO2002099169A1
公开(公告)日：
2004-09-16
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C30B29/36
IPC分类号：
C30B19/00
C30B19/04
H01L21/208
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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