研磨材、研磨用組成物、及び研磨方法[ja]

被引:0
申请号
JP20160152270
申请日
2016-08-02
公开(公告)号
JP6096969B1
公开(公告)日
2017-03-15
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C09K3/14
IPC分类号
B24B37/00
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[1]
研磨用組成物及び研磨方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2018124226A1 ,2019-10-31
[2]
研磨用組成物及び研磨方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2018124229A1 ,2019-10-31
[4]
研磨用組成物、研磨方法、及び製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2016194614A1 ,2018-03-29
[5]
研磨用組成物[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2016208301A1 ,2018-04-12
[6]
研磨用組成物[ja] [P]. 
日本专利 :JP6099067B1 ,2017-03-22
[7]
研磨用組成物及びシリコン基板の研磨方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2016143323A1 ,2017-12-21
[8]
炭化ケイ素研磨用組成物[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2011049216A1 ,2013-03-14
[10]
研磨剤用組成物[ja] [P]. 
SUGI NAOKI ;
MIYAKE KAZUNORI .
日本专利 :JP2024158594A ,2024-11-08