共 50 条
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ポジ型感光性ポリイミド樹脂組成物[ja]
被引：0
申请号：
JP20030533051
申请日：
2002-09-18
公开(公告)号：
JPWO2003029899A1
公开(公告)日：
2005-01-20
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
G03F7/037
IPC分类号：
C08G73/10
C08L79/08
G03F7/004
G03F7/022
G03F7/023
H01L21/027
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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