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プロセスリング上の希土類酸化物系薄膜コーティング用イオンアシスト蒸着[ja]
被引：0
申请号：
JP20170238374
申请日：
2017-12-13
公开(公告)号：
JP6714571B2
公开(公告)日：
2020-06-24
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/3065
IPC分类号：
C04B41/87
C04B41/89
C23C14/48
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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