湿式化学によるSi3N4選択的除去の必要性[ja]

被引:0
申请号
JP20210549173
申请日
2020-02-20
公开(公告)号
JP2022521267A
公开(公告)日
2022-04-06
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
H01L21/306
IPC分类号
H01L21/308
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 26 条
[1]
[2]
酢酸製造工程における不純物の選択的除去[ja] [P]. 
日本专利 :JP2019500341A ,2019-01-10
[4]
気相法と湿式化学法との組合せによる化学反応[ja] [P]. 
日本专利 :JP2015515361A ,2015-05-28
[5]
[8]
化学気相堆積中におけるチタンおよびケイ化チタンの選択性を強化するための方法および装置[ja] [P]. 
KURATOMI TAKASHI ;
CHEN I-CHENG ;
AVGERINOS V GELATOS ;
LEI PINGYAN ;
ZHANG MEI ;
TANG XIANMIN .
日本专利 :JP2023060085A ,2023-04-27