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合成石英ガラス基板の製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20190014152
申请日：
2019-01-30
公开(公告)号：
JP6669287B2
公开(公告)日：
2020-03-18
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C03B20/00
IPC分类号：
G01N21/23
G03F1/60
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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