一种研磨盘自动修正装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202322863266.6
申请日
2023-10-25
公开(公告)号
CN221186042U
公开(公告)日
2024-06-21
发明(设计)人
胡敬祥 王选 邱祥文
申请人
深圳市方达研磨技术有限公司
申请人地址
518107 广东省深圳市光明区公明街道上村社区元山工业区B区第34栋202、(B区)2700033号10
IPC主分类号
B24B37/025
IPC分类号
B24B37/11 B24B37/34 B24B41/04 B24B41/02 B24B47/12
代理机构
代理人
法律状态
授权
国省代码
广东省 深圳市
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
一种研磨盘的修正机构 [P]. 
朱永清 ;
周天杰 .
中国专利 :CN210307277U ,2020-04-14
[2]
一种研磨盘平面度修正装置 [P]. 
任明元 ;
张景 .
中国专利 :CN202878118U ,2013-04-17
[3]
一种新型研磨盘修正装置 [P]. 
曹玉圣 .
中国专利 :CN107717741A ,2018-02-23
[4]
一种硅片研磨设备固结磨盘用油石自动修正装置 [P]. 
吴晓峰 ;
郭兵健 ;
刘小磐 .
中国专利 :CN212553359U ,2021-02-19
[5]
一种研磨盘平面度修正装置 [P]. 
方遥 ;
徐黎慧 ;
杨佩娟 ;
高梦 .
中国专利 :CN119115792A ,2024-12-13
[6]
一种研磨盘平面度修正装置 [P]. 
任明元 ;
张景 .
中国专利 :CN103659604A ,2014-03-26
[7]
研磨盘用修正轮 [P]. 
李正良 ;
张雷 .
中国专利 :CN205968648U ,2017-02-22
[8]
一种研磨盘打磨装置 [P]. 
罗义亮 .
中国专利 :CN222791654U ,2025-04-25
[9]
一种可自动锁插芯的研磨盘 [P]. 
李卫超 ;
李华军 ;
谭德芳 ;
魏辉 .
中国专利 :CN218254568U ,2023-01-10
[10]
一种修正研磨盘的反转机构 [P]. 
宁富生 .
中国专利 :CN222021414U ,2024-11-19