一种金属刻蚀设备的安全保护装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202322933464.5
申请日
2023-10-31
公开(公告)号
CN221217927U
公开(公告)日
2024-06-25
发明(设计)人
王泽鹏 林延春
申请人
大连诺豪联恒电子科技有限公司
申请人地址
116000 辽宁省大连市中国(辽宁)自由贸易试验区大连经济技术开发区生命二路39-13-5号1-3层
IPC主分类号
C23F1/08
IPC分类号
代理机构
沈阳天赢专利代理有限公司 21251
代理人
王宝玉
法律状态
授权
国省代码
安徽省 宣城市
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共 50 条
[1]
一种限位保护装置及刻蚀设备 [P]. 
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[3]
升降设备安全保护装置 [P]. 
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[10]
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