一种用于芯片制造生产线自动化控制系统

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202410558530.1
申请日
2024-05-08
公开(公告)号
CN118131718B
公开(公告)日
2024-07-12
发明(设计)人
向美华 陈瞳亮
申请人
江苏浦丹光电技术有限公司
申请人地址
226500 江苏省南通市如皋市城南街道海阳南路2号电子信息产业园1号楼
IPC主分类号
G05B19/418
IPC分类号
代理机构
南通盛为知识产权代理事务所(普通合伙) 32870
代理人
李新林
法律状态
专利权质押登记、变更及注销
国省代码
北京市 市辖区
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共 50 条
[1]
一种用于芯片制造生产线自动化控制系统 [P]. 
向美华 ;
陈瞳亮 .
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[2]
一种石料生产线自动化控制系统 [P]. 
张建林 ;
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[3]
氧化生产线自动化控制系统 [P]. 
汪献利 ;
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[4]
造粒生产线自动化控制系统 [P]. 
冯梅 ;
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曹志伟 ;
张程滔 ;
董明 ;
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步进式热处理生产线自动化控制系统 [P]. 
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