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扫描电镜样品的承载装置、扫描电镜及其检测方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202310152999.0
申请日：
2023-02-17
公开(公告)号：
CN118549475A
公开(公告)日：
2024-08-27
发明(设计)人：
陈家宝
申请人：
长鑫存储技术有限公司
申请人地址：
230601 安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号
IPC主分类号：
G01N23/2204
IPC分类号：
G01N23/2251
代理机构：
代理人：
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
安徽省
宣城市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-09-13 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G01N 23/2204申请日:20230217 |
| 2024-08-27 | 公开 | 公开 |