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紫外光源组件和紫外光固化设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311615484.6
申请日：
2023-11-28
公开(公告)号：
CN118616300A
公开(公告)日：
2024-09-10
发明(设计)人：
张阳
李蓬勃
蒋天明
王攀
申请人：
拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司
申请人地址：
110179 辽宁省沈阳市浑南区水家900号
IPC主分类号：
B05D3/06
IPC分类号：
H01L21/67
代理机构：
北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463
代理人：
曹延鹏
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-09-10 | 公开 | 公开 |
| 2024-09-27 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):B05D 3/06申请日:20231128 |