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硅片插片花篮定位设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410824371.5
申请日：
2024-06-25
公开(公告)号：
CN118398540B
公开(公告)日：
2024-09-06
发明(设计)人：
成如诗
毛爱民
李文红
付浩然
吴峰光
申请人：
深圳市石金科技股份有限公司
申请人地址：
518127 广东省深圳市宝安区燕罗街道塘下涌社区安润路2号
IPC主分类号：
H01L21/68
IPC分类号：
H01L21/673
H01L21/677
代理机构：
上海笃学志远专利代理事务所(普通合伙) 31541
代理人：
卜荣明
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
广东省
深圳市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-08-13 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/68申请日:20240625 |
| 2024-07-26 | 公开 | 公开 |
| 2024-09-06 | 授权 | 授权 |