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基板搬运机器人
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202280090103.4
申请日：
2022-12-07
公开(公告)号：
CN118715605A
公开(公告)日：
2024-09-27
发明(设计)人：
芝田武士
小野良太
松冈淳一
申请人：
川崎重工业株式会社
申请人地址：
日本
IPC主分类号：
H01L21/677
IPC分类号：
B25J9/06
代理机构：
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人：
卢英日
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-09-27 | 公开 | 公开 |
| 2024-10-18 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/677申请日:20221207 |