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一种循环槽体潜排系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910887883.5
申请日：
2019-09-19
公开(公告)号：
CN110556323B
公开(公告)日：
2024-08-16
发明(设计)人：
戴洪烨
王相军
申请人：
无锡釜川科技股份有限公司
申请人地址：
214194 江苏省无锡市锡山区锡北镇锡港路张泾东段209号
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/02
代理机构：
苏州今迈知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32524
代理人：
沈月玲
法律状态：
授权
国省代码：
江苏省
无锡市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-08-16 | 授权 | 授权 |