一种氮化铝膜的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811094398.4

申请日：

2018-09-19

公开(公告)号：

CN109285761B

公开(公告)日：

2024-07-23

发明(设计)人：

刘忠范慈海娜高鹏

申请人：

北京石墨烯研究院北京大学

申请人地址：

100095 北京市海淀区苏家坨镇翠湖南路13号院中关村翠湖科技园2号楼

IPC主分类号：

H01L21/02

IPC分类号：

代理机构：

北京律智知识产权代理有限公司 11438

代理人：

吴娅妮;于宝庆

法律状态：

授权

国省代码：

北京市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-07-23	授权	授权

共 50 条

[1]

一种氮化铝膜的制备方法 [P].

刘忠范 ;

慈海娜 ;

高鹏 .

中国专利 :CN109285761A ,2019-01-29

[2]

一种氮化铝衬底的电阻浆料以及制备氮化铝膜电阻的方法 [P].

江明泓 .

中国专利 :CN107910101A ,2018-04-13

[3]

氮化铝膜的形成方法 [P].

加藤公二 ;

狩野正树 ;

山村和市 .

中国专利 :CN102453884A ,2012-05-16

[4]

一种氮化铝膜及其制备方法和应用 [P].

徐孝灵 ;

黄小辉 ;

王小文 ;

康建 ;

郑远志 ;

陈向东 .

中国专利 :CN111048403A ,2020-04-21

[5]

一种氮化铝膜及其制备方法和应用 [P].

黄小辉 ;

康建 ;

郑远志 ;

陈向东 .

中国专利 :CN111690907A ,2020-09-22

[6]

一种氮化铝膜及其制备方法和应用 [P].

黄小辉 ;

徐孝灵 ;

郑远志 ;

陈向东 ;

康建 .

中国专利 :CN108950477A ,2018-12-07

[7]

一种超薄氮化铝的制备方法 [P].

冯家伟 ;

杨大胜 ;

施俊男 ;

施纯锡 .

中国专利 :CN119571250A ,2025-03-07

[8]

一种氮化铝薄膜的制备方法 [P].

饶志鹏 ;

万军 ;

夏洋 ;

李超波 ;

刘键 ;

陈波 ;

黄成强 ;

石莎莉 ;

李勇滔 .

中国专利 :CN102296278A ,2011-12-28

[9]

一种氮化铝薄膜的制备方法 [P].

蒋国文 ;

徐广源 ;

樊怡翔 ;

常煜鹏 .

中国专利 :CN113488565B ,2021-10-08

[10]

一种氮化铝薄膜的制备方法及基于氮化铝薄膜的器件 [P].

邢琨 ;

胡君玮 ;

杨波 .

中国专利 :CN116695239B ,2025-07-04

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