干涉仪装置和用于制造干涉仪装置的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980077473.2

申请日：

2019-11-12

公开(公告)号：

CN113039414B

公开(公告)日：

2024-09-17

发明(设计)人：

B·斯泰因 M·胡思尼克 C·谢林 T·布克 C·D·克莱默 R·勒德尔

申请人：

罗伯特·博世有限公司

申请人地址：

德国斯图加特

IPC主分类号：

G01J3/26

IPC分类号：

G01J3/02 G01J3/32 G01J3/453

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

刘晗曦;刘春元

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-09-17	授权	授权

共 50 条

[1]

干涉仪装置和用于制造干涉仪装置的方法 [P].

B·斯泰因 ;

M·胡思尼克 ;

C·谢林 ;

T·布克 ;

C·D·克莱默 ;

R·勒德尔 .

中国专利 :CN113039414A ,2021-06-25

[2]

干涉仪装置和用于制造干涉仪装置的方法 [P].

R.雷德尔 ;

C.D.克雷默 ;

M.施密德 .

中国专利 :CN111721412A ,2020-09-29

[3]

干涉仪装置和用于制造干涉仪装置的方法 [P].

C·谢林 ;

S·克尼斯 .

中国专利 :CN113825988A ,2021-12-21

[4]

干涉仪装置和用于制造干涉仪装置的方法 [P].

N·明齐鲁利 ;

C·谢林 .

中国专利 :CN114341601A ,2022-04-12

[5]

干涉仪和用于制造干涉仪的方法 [P].

R·诺特梅耶 ;

C·胡博尔 ;

R·罗德尔 ;

B·斯坦 ;

C·谢林 ;

C·D·克莱默 .

中国专利 :CN112313488A ,2021-02-02

[6]

干涉仪和用于制造干涉仪的方法 [P].

R·诺特梅耶 ;

C·胡博尔 ;

R·罗德尔 ;

B·斯坦 ;

C·谢林 ;

C·D·克莱默 .

德国专利 :CN112313488B ,2024-02-02

[7]

干涉仪装置 [P].

肖澜 .

中国专利 :CN200979404Y ,2007-11-21

[8]

干涉仪和用于运行干涉仪的方法 [P].

A.默茨 ;

M.胡斯尼克 ;

M.施密德 ;

B.施泰因 ;

C.舍林 .

中国专利 :CN109564344A ,2019-04-02

[9]

申东方 .

中国专利 :CN307406903S ,2022-06-17

[10]

高桥知隆 .

中国专利 :CN101430190B ,2009-05-13

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