一种稳定性强的磁流体柱靶

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专利类型
实用新型
申请号
CN202323163973.0
申请日
2023-11-23
公开(公告)号
CN221645037U
公开(公告)日
2024-09-03
发明(设计)人
曾晓荔 范方华 范方豪
申请人
深圳鑫佳豪真空镀膜设备有限公司
申请人地址
518000 广东省深圳市宝安区福海街道永和路8号双金惠工业城D1栋1楼
IPC主分类号
C23C14/35
IPC分类号
代理机构
北京凳凳知识产权代理有限公司 37386
代理人
张惠
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种高稳定性防短路磁流体密封装置 [P]. 
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[3]
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