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一种光阻剂气泡去除装置

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202323206620.4
申请日：
2023-11-28
公开(公告)号：
CN221286961U
公开(公告)日：
2024-07-09
发明(设计)人：
梁云江
申请人：
山东云升新材料有限公司
申请人地址：
261000 山东省潍坊市昌乐县乔官镇朱孔路与省道223交叉口东100米
IPC主分类号：
B01D19/02
IPC分类号：
代理机构：
北京博识智信专利代理事务所(普通合伙) 16067
代理人：
孙炎
法律状态：
授权
国省代码：
山东省 潍坊市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-07-09 授权 授权
共 50 条
[1]
一种光阻剂气泡去除装置 [P]. 
邢槐泽 ;
张国慧 .
中国专利 :CN223615429U ,2025-12-02
[2]
一种水性蚀刻光阻剂脱气泡装置 [P]. 
钟水英 ;
何伟富 ;
何伟豪 .
中国专利 :CN209596616U ,2019-11-08
[3]
光阻去除装置 [P]. 
顾天筑 ;
汪杰 .
中国专利 :CN221056829U ,2024-05-31
[4]
一种晶片光阻去除装置 [P]. 
罗刚 ;
刘剑荣 ;
康龙 ;
朱帅 ;
董国庆 ;
文国昇 ;
金从龙 .
中国专利 :CN218181320U ,2022-12-30
[5]
一种气泡去除装置 [P]. 
洪樱伦 ;
黄进 .
中国专利 :CN210114857U ,2020-02-28
[6]
一种光阻剂烘干装置 [P]. 
梁云江 .
中国专利 :CN221208806U ,2024-06-25
[7]
一种保护膜气泡去除装置 [P]. 
李文华 ;
孟宪斌 ;
王皎 ;
韦宇丽 ;
闫慧琳 ;
柏文齐 ;
章梦竹 .
中国专利 :CN221937569U ,2024-11-01
[8]
气泡去除装置 [P]. 
黄江华 .
中国专利 :CN203391442U ,2014-01-15
[9]
气泡去除装置 [P]. 
李峰泰 .
中国专利 :CN202120010U ,2012-01-18
[10]
气泡去除装置 [P]. 
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 .
中国专利 :CN220315419U ,2024-01-09
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