共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
湿法清洗设备的清洗液导流装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011015020.8
申请日：
2020-09-24
公开(公告)号：
CN114256085B
公开(公告)日：
2024-08-02
发明(设计)人：
周健刚
申请人：
上海华力集成电路制造有限公司
申请人地址：
201203 上海市浦东新区康桥东路298号1幢1060室
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
代理机构：
上海浦一知识产权代理有限公司 31211
代理人：
张彦敏
法律状态：
授权
国省代码：
上海市
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-08-02 | 授权 | 授权 |