检查方法和检查系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980061600.X

申请日：

2019-08-27

公开(公告)号：

CN112740384B

公开(公告)日：

2024-09-17

发明(设计)人：

新井治神谷浩

申请人：

日本麦可罗尼克斯股份有限公司

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21/66

IPC分类号：

G01R31/28 H01L21/68

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-09-17	授权	授权

共 50 条

[1]

检查方法和检查系统 [P].

新井治 ;

神谷浩 .

中国专利 :CN112740384A ,2021-04-30

[2]

检查方法和检查系统 [P].

切明健志 ;

吉田清 ;

三浦聪纪 ;

木村爱佳 ;

水田政智 .

中国专利 :CN103175867A ,2013-06-26

[3]

检查方法和检查系统 [P].

秋元健司 .

中国专利 :CN115508384A ,2022-12-23

[4]

检查方法和检查系统 [P].

松田文彦 ;

木村安雄 .

中国专利 :CN114545193A ,2022-05-27

[5]

检查系统和检查方法 [P].

陈志强 ;

李元景 ;

赵自然 ;

吴万龙 ;

唐乐 ;

刘以农 ;

金颖康 ;

丁光伟 ;

曹硕 ;

郑志敏 ;

刘文国 ;

俞文涛 ;

周奕 .

中国专利 :CN103892853A ,2014-07-02

[6]

检查系统和检查方法 [P].

栗原徹 ;

安藤繁 .

中国专利 :CN106461568A ,2017-02-22

[7]

检查系统和检查方法 [P].

赤泽圭一 ;

井上靖之 ;

栗原徹 .

中国专利 :CN110383050A ,2019-10-25

[8]

检查方法和检查系统 [P].

切明健志 ;

吉田清 ;

三浦聪纪 ;

木村爱佳 ;

水田政智 .

中国专利 :CN105866181A ,2016-08-17

[9]

检查系统和检查方法 [P].

张丽 ;

陈志强 ;

胡海峰 ;

李元景 ;

刘以农 ;

孙尚民 ;

张文宇 ;

邢宇翔 .

中国专利 :CN101424648B ,2009-05-06

[10]

检查系统和检查方法 [P].

陈志强 ;

李元景 ;

赵自然 ;

吴万龙 ;

唐乐 ;

刘以农 ;

金颖康 ;

刘文国 ;

曹硕 ;

郑志敏 ;

丁光伟 ;

桑斌 ;

沈宗俊 .

中国专利 :CN103892852A ,2014-07-02

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