薄膜晶体管及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410308974.X

申请日：

2024-03-18

公开(公告)号：

CN118198140A

公开(公告)日：

2024-06-14

发明(设计)人：

李雨轩王嘉义王盛凯尤楠楠徐杨李泠

申请人：

中国科学院微电子研究所

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

H01L29/786

IPC分类号：

H01L21/34 H01L21/461

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

郭梦雅

法律状态：

公开

国省代码：

北京市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-06-14	公开	公开
2024-07-02	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 29/786申请日:20240318

共 50 条

[1]

薄膜晶体管及其制作方法 [P].

林亮宇 ;

郑君丞 .

中国专利 :CN105185836A ,2015-12-23

[2]

薄膜晶体管及其制作方法 [P].

张盛东 ;

邵阳 ;

贺鑫 ;

肖祥 .

中国专利 :CN103325840A ,2013-09-25

[3]

薄膜晶体管及其制作方法 [P].

袁波 ;

刘玉成 ;

高胜 ;

徐琳 .

中国专利 :CN108122991B ,2018-06-05

[4]

薄膜晶体管及其制作方法 [P].

章雯 ;

董承远 .

中国专利 :CN112928027A ,2021-06-08

[5]

薄膜晶体管及其制作方法 [P].

黄北洲 .

中国专利 :CN109637933A ,2019-04-16

[6]

薄膜晶体管及其制作方法 [P].

张锡明 .

中国专利 :CN102569417A ,2012-07-11

[7]

薄膜晶体管及其制作方法 [P].

张志榜 .

中国专利 :CN103545380A ,2014-01-29

[8]

薄膜晶体管及其制作方法 [P].

齐之刚 .

中国专利 :CN105810744B ,2016-07-27

[9]

薄膜晶体管及其制作方法 [P].

林汉涂 .

中国专利 :CN1866482B ,2006-11-22

[10]

薄膜晶体管及其制作方法 [P].

柳冬冬 ;

刘胜芳 ;

刘雪洲 ;

林立 .

中国专利 :CN104051541B ,2014-09-17

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