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一种芯片生产用搬运装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202323527999.9
申请日：
2023-12-25
公开(公告)号：
CN221508127U
公开(公告)日：
2024-08-09
发明(设计)人：
王志超
申请人：
弗晟科技（上海）有限公司
申请人地址：
200000 上海市浦东新区万祥镇宏祥北路83弄1-42号20幢118室
IPC主分类号：
H01L21/677
IPC分类号：
H01L21/683
代理机构：
武汉中道领珺专利代理事务所(特殊普通合伙) 42270
代理人：
吴美蓉
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-08-09 | 授权 | 授权 |