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位置检测装置、位置检测方法及光刻设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202310183740.2
申请日：
2023-02-28
公开(公告)号：
CN118567188A
公开(公告)日：
2024-08-30
发明(设计)人：
郑哲
申请人：
上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请人地址：
201203 上海市浦东新区张东路1525号
IPC主分类号：
G03F7/20
IPC分类号：
G02B27/64
代理机构：
上海思捷知识产权代理有限公司 31295
代理人：
黄一磊
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
上海市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-09-17 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20230228 |
| 2024-08-30 | 公开 | 公开 |