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半导体工艺设备的气体混合装置及半导体工艺设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410831105.5
申请日：
2024-06-26
公开(公告)号：
CN118371136A
公开(公告)日：
2024-07-23
发明(设计)人：
周礼
田相龙
姜大春
申请人：
艾生科（江苏）化工科技有限公司
申请人地址：
213000 江苏省常州市新北区浏阳河路109号
IPC主分类号：
B01F23/10
IPC分类号：
B01F33/82
代理机构：
苏州市知腾专利代理事务所(普通合伙) 32632
代理人：
毕江涛
法律状态：
授权
国省代码：
江苏省
常州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-11-01 | 授权 | 授权 |
| 2024-08-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):B01F 23/10申请日:20240626 |
| 2024-07-23 | 公开 | 公开 |